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上海岱珂机电非接触式晶圆测量系统：•对射式非接触式同轴激光位移传感器测量；•直线电机高精度龙门运动机构；•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量；•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得较高的平面度及平顺性；•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)；•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm；•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架；•比较大扫描速度1m/s；•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式；•直观简单的2D或3D数据呈现方式；•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准。检测仪器，就选司逖测量技术（上海）有限公司，用户的信赖之选，有需要可以联系我司哦！

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