氦质谱检漏仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括几个方面:一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。氦检仪整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。安徽进口氦质谱检漏仪价格
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面:(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。嘉兴真空氦质谱检漏仪特点敏度、反应时间、消除时间、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
氦质谱检漏仪原理:氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏的仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入人体磁场,当洛伦兹力效应偏转时,电弧形成,加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声,需要针对性的采取措施,如减少采用有机材料,不用磁放电规等。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。
氦检仪的捡漏方法有哪些?背压法(压氦法)真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气,迫使氦气进入泄漏工件,再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业:电子元器件,电子封装等。氦质谱检漏背压法优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。嘉兴分体式氦质谱检漏仪售后服务
影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?安徽进口氦质谱检漏仪价格
氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于较佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的较大的波动量,能较方便地估计检漏效果。安徽进口氦质谱检漏仪价格
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