光谱共焦位移传感器——线传感器
MP***M线扫描传感器
MP***M控制器，是市场上首台“线”光谱共聚焦传感器。
包含了180个**的光谱共聚焦通道。 每个通道测量样品表面上的单个点，并包含自己的点源，zhen孔和光谱仪。
在MP***M中，控制器和光学头通过两个光纤束连接。
首束将控制器的内部光源连接到镜头的入射面; 180束光纤电缆的前列成为180个通道的点源。
第二束连接光谱仪的输出平面; 180根光纤电缆的前列实现了180个通道的zhen孔。
MP***M控制器——技术特点
l 市场上首台“线”光谱共聚焦传感器
l 投射到样品表面为一条线，由180个离散点组成，每点对应一条**测量通道
l 比较大线率是2000 lines/秒
l 高工作量（360000点/秒）
l 由千兆以太网进行数据传输
l gao分辨率，高精度
l 可测量任何材料
l 对外部环境光线不敏感
l 兼容所有光学头
l 同步方式：主和从
l 借助DLL工具，易于管理
共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，STIL开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理STIL干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。可测厚度为μm。
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