STIL DUO双重技术“点”传感器
●世界上初次个提供两种同时测量技术的系统:光谱共焦原理和具备原始共焦设置的白光光谱干涉原理。
●STIL的共焦彩色原理可测量范围从130um到42mm。非常适用于粗糙度和表面形貌测量,在任何类型的材料上都可获得非常高的精确度,无论是反射还是散射。测量符合新ISO 25178标准。
●STIL的共焦光谱干涉测量法,可获得亚纳米分辨率(<1nm)的厚度和形貌测量结果,可在大于100um的测量范围内进行测量,且样品的zui小可测厚度为0.4um。
●完美适用于工业环境,许多输入和输出以及软件开发套件,接口非常简单。
光谱共聚焦模式
●使用Multipeak软件进行多层样品测量
白光光谱干涉模式
●振动不敏感度(OPILB-RP光学笔)
●高信噪比(OPILB-RP光学笔)
●不需垂直扫描
●zui小可测厚度0.4um
●光学原理固有的亚纳米分辨率
●共焦使相邻点之间无干扰
●厚度测量上具有出色性能(0.3nm分辨率,10nm精度)
对非预期缺点的识别,在应用中,往往是给定一些具体的缺点模式,使用机器视觉来识别它们到底有没有发生,但经常遇到的情况是,许多明显的缺点,因为之前没有发生过,或者发生的模式过分多样,而被漏检。如果换做是人,虽然在操作流程文件中没让他去检测这个缺点,但是他会注意到,从而有较大几率抓住它,而机器视觉在这点上的“智慧”目前还较难突破。机器视觉是一门学科技术,是一门涉及人工智能、神经生物学、心理物理学、计算机科学、图像处理、模式识别等诸多领域的交叉学科。机器视觉是指利用相机、摄像机等传感器,配合机器视觉算法赋予智能设备人眼的功能,从而进行物体的识别、检测、测量等功能。
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