3D测量系统MICROMESURE2
配置“点”传感器的MICROMESURE 2系统
MICROMESURE 2系统,配置CCS-PRIMA,STIL-DUO传感器,是非接触式表面测量的理想工具,包含3D粗糙度,形状测量和3D微观形貌。
MICROMESURE 2系统,充分利用了STIL非接触式传感器在各种应用和领域的***性能。
与配套的控制&采集硬件和软件一起交付,MICROMESURE 2系统是一套整机,启动后立刻执行(指令)。
借助光谱共焦传感器
●非接触式尺寸测量
●纳米和微米分辨
●白光传感器(***点,大测量范围)
●同轴测量(无阴影)
●镜面上的高局部斜率(反射式)
●对环境光不敏感
●可测量金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
●透明物体的厚度测量方式
●具有大测量范围能力(20μm-24mm)
借助高质量的扫描系统
●Z轴0.1μm编码器(系列产品)
●X&Y轴0.1μm编码器(可选择)
●低震动
●正交性和平面度校正
●透明的作业空间,避免气流震荡
点传感器的相关软件说明
CCS Manager
●一个非常强大的可执行程序,允许在段时间内使用CCS、STIL-DUO或STIL-VIZIR传感器进行测量。
●拥有非常友好的人机界面,容易取得精确测量结果,且对CCS传感器进行相关设置操作。
●可升级传感器固件,以便获得即时优化和STIL工程师开发的即时功能
●控制器的现场校准
●下载传感器的校准表,以便CCS控制器配置使用更多光学笔
●特别的的“诊断”功能,允许记录传感器的当前状态到文件。可以直接发送到STIL的应用与支持部门。
DLL
●提供一种强大的软件开发工具包,使STIL传感器很容易和客户应用进行对接。其主要功能:
●初始化并且通过RS232、以太网、或USB连接传感器
●接收/设置传感器配置,如:采样率、测量模式(距离/厚度)、光学笔选择、数据输出设置、模拟输出设置
●测量传感器“暗”信号
●启用禁用硬件触发模式
●通过其他程序启动测量
●与其他程序同步测量
●获取传感器状态和“ **终报错”参数
多层测厚软件
●STIL-DUO传感器的多峰软件,允许测量多层透明样本的厚度(可达10层)
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