共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，STIL开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理STIL干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。可测厚度为μm。
光学元件的质量主要取决于表面质量, 而面形偏差检测、表面粗糙度、表面疵病的检测则是评价光学元件表面质量的主要项目。如今的工业生产过程已经逐步趋于自动化, 机器视觉检测能够充分发挥自己的优势, 运用于某些人眼无法观测到或者危险的工作环境中。在计算机技术和电子电路集成化发展的 , 机器视觉的可靠程度也越来越高, 充分利用它的非接触性、实时性、灵活性和精确性等优点，能够更多地融入到生产过程或生活中去。视觉检测主要用计算机来模拟人的视觉功能，从客观事物的图像中提取信息，进行处理并加以理解，**终用于实际检测、测量和控制，技术比较大的特点是速度快、信息量大、功能多。
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