共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，STIL开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理STIL干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。可测厚度为μm。
线传感器的相关软件
线传感器需要一台运行WINDOWS7系统，32或64字位、带有USB2.0接口的电脑主机。SDK-CD与传感器一起提供，包含：
●C++动态库母代码
●.NET动态库
●“线传感器示例”程序
●USB驱动
●传感器用户手册和软件用户手册
使用“线传感器”，可完成即时任务：
●连接传感器
●保存且加载配置文件
●改变传感器设置（LED强度，测量频率，触发选项）
●启动测量，观察，保存数据
●执行用户校准
程序已显示模：“线-线”和“图像”。在后一种模式下，每个版块的N行线，显示N*180大小的图像。
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