上海岱珂机电设备有限公司非接触式晶圆测量系统：
•阶梯式测量,还原接触测量真实结果；•直线电机高精度龙门运动机构；•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量；•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性；•兼容比较大360mm陶瓷盘(5-7pcs样品)；•晶圆的测量厚度范围为5um-1mm；•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架；•含视觉自动定位系统；•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式；•直观简单的2D或3D数据呈现方式；•样品盘顶出机构，兼容机器人上下料动作。
上海岱珂机电设备有限公司，岱珂机电压电纳米精密定位台此产品组合包括，超精密驱动单元、干涉位移传感器、低温显微镜系统及低温恒温器，其工作接近技术和物理的极限。其室温和低温纳米精度移动平台,专为纳米定位而设计，在极端环境条件下（如低温，高磁场和超高真空）具有比较高精度。适用于大气和真空条件，并且可根据客户的应用提供各种不同的选择，如使用重量轻的强铝用于大气层，而不锈钢外壳兼容高达真空条件。产品特点：•认证精度；•真空兼容；•大距离范围；•紧凑和模块设计。
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