上海岱珂机电非接触式晶圆测量系统:
•对射式非接触式同轴激光位移传感器测量;
•直线电机高精度龙门运动机构;
•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;
•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性;
•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品);
•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm;
•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架;
•比较大扫描速度1m/s;
•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式;
•直观简单的2D或3D数据呈现方式;
•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准。
中国半导体领域的发展如何呢?其实国内发展前景还是非常不错的。至少目前能够确定的是,我们在这一领域之中并不算是完全的空白。2014年《国家集成电路产业发展推进刚要》正式发布,这个纲要的发布,意味着我们将会重新发展集成电路产业的决心。不过值得一提的是,目前我们的现状不是很好,在国外企业不断加速发展的情况下,我们在半导体领域内的发展已经落后的一大截。但是好消息是,目前芯片的发展即将捅破摩尔定律的极限,这对于国内半导体的发展来讲,其实是一件利好的事情。上海岱珂机电设备有限公司致力半导体领域内精密检测,具备各种型号的精密检测仪器设备,岱珂机电也可根据您的需求精细定制在线测量方案。
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